大型集成电路工厂的硅片生产过程中，大约有50种不同的电子气体。大部分是特殊气体。本文简要描述了特殊气体系统的设计和施工。
一：概念
特种气体运输系统是指根据工艺设备的工艺标准，通过管道、无二次污染、从气源端稳定地将特种气体输送到工艺设备的气点，控制流量和压力。
它的基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点
二：分类
特种气体一般分为稀有气体、易燃易爆气体、有害气体和腐蚀性物质，根据气体性质的不同，可分为特种气体和大型特种气体。
三是选择供气系统
1. 供气系统简单
简单的供气系统主要针对半导体芯片厂、半导体材料研究机构和一些4英寸以下的单一工艺设备。其工艺简单，一般不需要持续供气，供气系统投资预算低。
由于空气压力小，不常使用，一般气瓶主要用于特殊气源(50L)。半自动气瓶柜或气瓶架主要用于输送系统，控制面板简单；配备紧急切断阀，用于继电器控制、自动选择、手动吹扫、手动清空和有害气体。稀有气体瓶架采用全手动系统，有的甚至采用单瓶系统。所有气体共用一个气体室，甚至没有气体室。特殊气体瓶和输送系统有时放置在回风通道上，或者直接放置在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特殊的危险气体，通常会共用一个排放系统。
