气瓶柜 Gas Cabinet
腐蚀性，毒性，可燃性，自然性气体使用的气体放置于管理设备。气瓶柜标准配置减压装置，自动切换，自动吹扫，真空发生器，终端过滤器，紧急切断，泄漏侦测，喷淋稀释，紧急关断，抽风故障报警，伴热，供应压力监测等自动安全装置。
标准配置
单瓶柜（1 工艺钢瓶）
双瓶柜 （1 工艺钢瓶 + 1 吹扫N2钢瓶）
双瓶柜 （2 工艺钢瓶）
三瓶柜（2 工艺钢瓶， 1 吹扫N2钢瓶）
特殊配置
大流量BSGS供应系统 （NH3 2000L）
TMA 供应系统
TEOS 供应系统
DEZ供应系统
TCS / DCS 供应系统
高精度气体混配系统
