特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，CI2 易燃易爆的气体、有毒的气体、有腐蚀性的气体、纯度特别高(超过
99.999%)的一些具有高危险性，应确保安全性的特气储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称，特气系统工程是用于实现特气系
统安全使用的工程。公司提供从供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第一的特气管理输送系统。提供设计、选型、
制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。
特气管道系统由储存、输送、分配、控制四类设备组成。其中“存储”指气源部分(特气柜GC)，“输送”指配管部分(一般用双套管)，“分配”指二
次配部分(气体分配柜VMB)，“控制”指监督控制部分(气体管理系统GMS)。
特气管道系统特点
特气系统中的每台设备均配有PLC控制、彩色触摸屏操作，带有温度、压力、烟雾、泄漏监控报警，并可扩展地震监控报警;单台设备可以独
成系统独立运转，也可多台设备用PLC或TGO连起来组成大系统，在监控中心统一监控管理，其报警系统还可以与安监系统、消防系统对
接。
电子特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材
料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品
率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。
适合场合
芯片半导体，微电子企业、光伏太阳能、生物制药、新材料等行业，常配套用于溅射真空镀、沉积刻蚀、钝化清洗等设备
