1、VCR连接
高纯度气体管道与阀门等配件的连接应采用密封不易泄漏的专用接头进行连接，常用的连接方式有VCR两种：(VacuumCouplingRetainer)和SWG(Swaglok)，VCR选用好的金属垫，采用垂直压力卡紧，所以泄漏率极低，大约10。～9Acc/s，并且抗压能力高，常用于气体杂质含量1.0×10-9级高纯气输送系统，而SWG不如VCR，抗压能力低，基本上这两种接头方式的安全性足以替代焊接方式。
2、法兰连接
在一些要求较低的气体管道中，管道与设备、管道与阀门之间的连接可以采用法兰连接，垫片可以采用软金属垫片或聚四氟乙烯垫片。由于石棉会产生灰尘，橡胶具有很强的透气性和吸水性，容易老化，因此不需要整个石棉垫片或橡胶垫片。
表面密封连接件连接
法兰连接时，气体与密封材料的接触面较大，表面损坏较大，因此高纯气体管道不采用法兰连接。大部分采用表面密封件，大部分采用VCR密封件。VCR连接方式气体不接触密封材料，流通表面几乎没有磨损。这是一种垂直压力，可以用优质的金属垫密封，不泄漏，污染少，因此被广泛使用。选择时，连接件材料与主管材料一致，内表面光洁度一致。
3、法兰连接
法兰连接对于大气体和纯度要求不高的气体管道，采用镀锌钢管时，采用法兰连接。法兰连接的密封材料应采用聚四氟乙烯密封带，不得采用传统油麻。密封带应适当缠绕。如果不能缠绕太厚或太长，如果缠绕太厚或超过管道螺纹端口的坡口，当螺纹拧紧时，密封带会被丝绸咬掉，从人体管道中形成较大的污染物。因此，有必要在不缠绕密封带的情况下留出2-3颗凸牙。
4、焊接
焊接连接管的焊接连接，可采用对焊、承插焊或套管式连接。
对焊
对需要高纯度的管道，选择内壁无疤痕的焊接。高纯氩气保护焊接。
承插焊
对纯度要求较低的管道可采用承插焊或套管焊，由于气体残留空间较大，可采用承插焊。
套管焊接
很难吹干，现在更多的是套管焊接。套管的焊接应与套管和主管具有相同的材料和内层水平，结合部分之间的间隙不宜过大，重叠部分不宜过多。更合适的重叠长度在5毫米以内。套管内管加工时，应由主管过盈，使主管被套管包裹后焊接，焊渣不会落入管内。而且气体死亡空间小，容易吹干。
