特殊气体硅烷系统设计内部分配系统要求：
1、在某些情况下，由于地点或环境的考虑，或者硅烷混合物的其他成分是有毒的，外部分配系统不可能位于室外。除了本部分推荐的控制措施外，上述户外分配系统的控制措施也适用于室内分配系统。
2、使用的硅烷应位于通风的气体或排气室或隔离通风的气体储存室。该区域不得有不兼容的材料(如氧化剂)。室内分配系统应位于防爆屏蔽室或隔离室，设计用于危险材料控制。防爆屏蔽室或隔离室应至少有一个外墙，应与建筑物的其他占用区隔离。对硅烷室内储存和控制的建筑要求，应参照当地相关建筑法规。
3、所有无焊接装置的通风速度必须足以防止硅烷在泄漏条件下积聚。(对自燃气体， NFPA 318 气瓶颈部和控制器的速度要求为 200 fpm；最近通过了统一的消防法标准 80.106 所有无焊接装置都需要机械通风速度。 200 fpm）。气室应该设计得能防止气圈形成。气室通风应采用自动气体报警系统进行检测，并在通风故障的情况下停止设备运转。
4、氢化物检测器应位于气体室排放系统中，当检测到氢化物时，设备应停止运行。还需要紫外线/红外线探测器来指示火灾，并在检测火灾时停止设备运行。温度开关也可以用来检测室内的火灾。
5、净化操作应使用位于同一个气体室或排气室的特殊稀有气体气瓶。理想情况下，每个净化气瓶及其维护的气瓶应共享同一个气体室。室内N2系统不能作为净化源。
