特气系统|减压器的实际应用及选型判断
在半导体、光伏、实验室、科学研究等领域,特殊气体系统是不可或缺的,特殊气体系统由各种气体设备组成。一般使用的气瓶气罐容器储存的空气压力高达15MPa左右。这种高压气体在管道系统中分道添加,远远超出了使用压力范围。
2023-12-26
超高纯硅烷SiH4将用于半导体和太阳能薄膜工艺。、磷烷PH3,砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特殊气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性,但是是制造精密半导体电子元器件和新能源光电产品必不可少的重要原料。如果生产中有气体泄漏,会造成非常严重的产品质量和人身伤亡。为了保证安全,这种高纯特殊气体的输送管采用不锈钢双层管。管道施工时,对工作环境的清洁度、管道内外管道的清洁度、焊接和安装质量有很高的要求。本文对超高纯特殊气体双层管道的施工提出了一些建议,供同行参考。
2.工艺原理
采用水平15°倾斜姿势加工,顺管内介质流向高纯氮(99.9999%)进行吹扫。双层管夹层填充不锈钢弹簧后,弯管由专用弯管装置加工。双层管道内外充纯氩(99.9999%)保护的全自动轨道氩弧焊连接与柔性金属垫片端面密封连接,结合氦气泄漏检测工艺原理,确保内外管道的清洁度、密封性、弯管质量和管道焊接安装质量。
三是加工安装操作要点
清洁区域控制3.1
现场设置三个预制清洁区,建立临时清洁室,要求清洁等级不低于9级,以保证管件加工的清洁度。进入清洁室的人必须穿清洁服、清洁帽、清洁鞋和手套。