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超高纯特气双层管道施工工艺
超高纯硅烷SiH4将用于半导体和太阳能薄膜工艺。、磷烷PH3,砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特殊气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性,但是是制造精密半导体电子元器件和新能源光电产品必不可少的重要原料。
2024-04-08 00:00:00
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